真空镀膜技术与设备设计安装及操作维护实用手册
真空镀膜技术与设备设计安装及操作维护实用手册

第一篇 真空镀膜技术概论
第一章 真空镀膜技术及其应用
第二章 真空镀膜基础知识
第三章 真空镀膜常用塑料
第四章 真空镀膜常用涂料

第二篇 真空技术
第一章 真空基本知识
第二章 真空泵
第三章 真空系统
第四章 真空测量
第五章 真空检漏

第三篇 真空镀膜材料
第一章 薄膜材料的基本理论和特性
第二章 金属薄膜材料
第三章 介质和半导体薄膜材料
第四章 光学性能可变换的薄膜材料

第四篇 真空蒸发镀膜技术
第一章 真空蒸发镀膜原理
第二章 蒸发源
第三章 蒸发源的蒸发特性及其膜厚分布
第四章 某些特定材料的蒸发技术
第五章 间歇式真空蒸发镀膜机
第六章 半连续式真空蒸发镀膜机

第五篇 真空溅射镀膜技术
第一章 溅射技术
第二章 直流溅射镀膜
第三章 磁控溅射镀膜
第四章 射频溅射镀膜
第五章 反应溅射镀膜
第六章 磁场计算
第七章 水冷系统的设计与计算
第八章 膜厚均匀度

第六篇 真空离子镀膜和束流沉积技术
第一章 真空离子镀膜
第二章 离子束沉积技术
第三章 分子束外延技术

第七篇 化学气相沉积技术
第一章 化学气相沉积技术概论
第二章 化学气相沉积方法
第三章 低压化学气相沉积技术
第四章 等离子增强化学气相沉积技术
第五章 其它化学气相沉积法

第八篇 真空离子注入技术
第一章 真空离子注入技术概论
第二章 几种离子注入的新方法
第三章 离子注入装置
第四章 离子注入及离子束混合的应用

第九篇 薄膜微细加工技术
第一章 薄膜微细加工技术概论
第二章 离子束刻蚀
第三章 糠酸溅射刻蚀
第四章 等离子体反应刻蚀
第五章 反应离子刻蚀

第十篇 薄膜厚度的测量与监控
第一章 电学测量法
第二章 光学测量法
第三章 机械测量法

第十一篇 真空镀膜设备设计安装与操作维护
第一章 真空镀膜设备构件设计
第二章 卷绕式真空镀膜机
第三章 间歇式真空镀膜机
第四章 真空镀膜设备安装调试与操作维修

第十二篇 真空镀膜技术在塑料薄膜和制成品上的应用
第一章 真空镀膜技术在塑料薄膜上的应用
第二章 真空镀膜技术在塑料成型品上应用